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工程服務

FPD-TFT液晶面板

TFT-LCD液晶面板制造業中,陛通科技主要為美國應用材料,日本愛發科公司等設備供應商和京東方、中航光電、龍騰光電、廈門天馬等設備終端用戶提供PECVD/ ILD/ EBT/PVD設備安裝項目工程服務和工程師技術支持服務。

 

服務能力及范圍
設備安裝(全部在潔凈室環境下作業)
以美國應用材料公司生產的大型AKT設備為主的Tier 0 預安裝階段的解決方案

設備各個模塊的精密光學儀器水平找正定位和組裝定位 ;

電源柜與設備模塊之間的電纜連接和電纜橋架組裝;

設備各個模塊之間的信號線和控制線連接;

設備各個模塊之間的廠務水管、去離子水管、壓縮空氣管道、真空管道安裝連接及管道的氦測漏等。

 

Tier 1硬件調試階段的解決方案

設備各個模塊的開啟,功能測試,參數校準和問題診斷;

設備傳送腔室和其他腔室的泄漏檢測,傳送位置校準,反應氣體引入和傳片測試等。


Tier 2、3工藝制程調試階段的硬件技術支持 

設備在進行工藝調試過程中及時解決設備硬件出現的問題以及完成設備模塊需要校準和調節的工作;

為設備的工藝調試過程提供硬件方面的技術人員支持和人力支持,直到設備通過設備商客戶的驗收為止。
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